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阿克特®电子束评论

先进的显示技术需要越来越多的工艺步骤,导致越来越多的污染物,以及新型的缺陷。

现有的显示器用内联自动光学缺陷检测工具在鉴别致命缺陷和非致命缺陷方面不如扫描电子显微镜(SEM)分析有效,或者确定缺陷的系统根源。在介绍Applied的eBeam.(EBR)系统之前,对显示器进行SEM分析,需要将玻璃基板破碎成碎片,并在显微镜下分别检查每一块。这不仅昂贵而且耗时,但也使得将缺陷行为与最终器件性能联系起来几乎是不可能的。应用通过提供行业最高分辨率和吞吐量的内联SEM审查而不需要打破面板来解决这些限制。